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EC20-0016ERN
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在积分控制中,控制器的输出与输入误差信号的积分成正比关系。对一个自动控制系统,如果在进入稳态后存在稳态误差,则称这个控制系统是有稳态误差的或简称有差系统(System with Steady-state Error)。为了稳态误差,在控制器中引入“积分项”。积分项对误差取决于时间的积分,随着时间的增加,积分项会增大。这样,即便误差很小,积分项也会随着时间的增加而加大,它推动控制器的输出增大使稳态误差进一步减小,直到等于零。因此,比例+积分(PI)控制器,可以使系统在进入稳态后无稳态误差。
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APPLIED MATERIALS 0020-32909 REV.001 / 0041-11052 REV.02 (25AT)
AMAT 0090-77183 5 GRIPPER SENSOR HARNESS, ARM 5,
Applied Materials 0190-18083 Parker 5732-8 Hose Assy.W/Couplers BH4-60 BH4-61
AMAT 0040-87418 ROLLER WELDED MEG MODULE 200MM, WORKING
AMAT 8017-0746A Optic Laser 25mm diameter 6.10mm thick
AMAT 0010-08322 Top Local RF Match Rev.002 working
AMAT 0140-24765 HARN ASSY, LOWER LAMP MOD,
AMAT 0226-10253 Gems 70821 FS-927 Harness Assy Flow Sensor Switch 171765
Applied Materials / AMAT 0010-17798-002 M11-097-0949
Applied Materials P5000 Platform TEOS AMPULE Version 4 0010-09781
Applied Materials 007616 0050-14805-A LINE EXHAUST HTF CHAM A/B 3005892
APPLIED MATERIALS 0150-15386 CABLE ASSY HELIOS-4 INLET3 PUMP RUN CH-A IH1000
AMAT 0150-30248 CABLE ASSY, MF I/O E-SW T,
AMAT OPAL 70412480000 DPSM Assy Sn: 166151 Appllied Materials
AMAT OPAL 70512470000 Appllied Materials HDPM Assy Sn: 1658537
Applied Materials 0190-35712 Thermocouple
AMAT 300mm Mainframe Controller w/ CDN 494 Interlock cards Mainframe relays
AMAT Applied Materials 0040-77316 Robot Alignment Fixture and Manifold Used
AMAT 0150-17644 CABLE ASSY, NIGATOR INTLK SIDE1/SIDE2, PRODUCER SE,
AMAT 0020-10917 Inlet/Outlet Quick connect disconnect Manifold 1/2" OD connects
APPLIED MATERIALS SMC BX_ZOOM 0150-F0030 REV.5, SMC1-J2, SCAN CENTER-P1
AMAT Applied Materials 0100-00985 HP Gas Interlock PCB Card XR80 Working
AMAT 0090-76001 Signal Tower Assembly Patlite STF-V 24V AC/DC
Opal 50312460100 ETPS Assembly AMAT Applied Materials SEMVision cX Working
0040-99095 / LINER,UPPER,W/COOLING ANODIZE,300MM DPN / APPLIED MATERIALS
AMAT 0140-00897 Harness Assy DNET LL/CH HHD Assy: 0900-00200